Экспериментальный вакуумно-плазменный комплекс

Лаборатория отдела механики ионизованных сред

(руководитель лаборатории канд. техн.наук, ст. науч. сотр.Гришкевич А.Д.)

Назначение комплекса:

  • исследование рабочих процессов в плазменных устройствах различных типов;
  • отработка технологических процессов ионно-плазменной обработки;
  • нанесение декоративных и функциональных, монослойных, много-слойных и наноструктурированныхпокрытий различного состава и назначения на наружные и внутренние рабочие поверхности.
  • Состав комплекса:

  • высокопроизводительная высоковакуумная откачная установка;
  • вакуумные камеры:
  • Вакуумная камера "Пума болшая" Вакуумная камера "Пума малая"

    Вакуумные камеры "Пума болшая" и "Пума малая" в составе экспериментального вакуумно-плазменного комплекса

  • технологические плазменные устройства вакуумно-дугового типа и устройства с замкнутым дрейфом электронов (генераторыэнергети-ческих газовых ионов, распылители магнетронного типа);
  • источники электропитания плазменных устройств;
  • вакуумные вводы вращательного и возвратно-поступательного пере-мещения плазменных устройств и обрабатываемых изделий;
  • вакуумные вводы электропитания, охлаждающей воды, рабочих газов;
  • измерительное приборное обеспечение.
  • НОМЕР ТЕЛЕФОНА:
    +38-0562-47-24-88
    E-MAIL:

    © 2001 - 2017 Институт технической механики НАНУ и ГКАУ