Експериментальний вакуумно-плазмовий комплекс

Лабораторія відділу механіки іонізованих середовищ

(керівник лабораторії канд. техн.наук, ст. наук. співр. Гришкевич О.Д.)

Призначення комплексу:

  • дослідження робочих процесів в плазмових пристроях різних типів;
  • відпрацювання технологічних процесів іонно-плазмової обробки;
  • нанесення декоративних та функціональних, моношарових, багатошарових та наноструктурованих покриттів різного складу та призначення на зовнішні та внутрішні поверхні.
  • Склад комплексу:

  • високопродуктивне високовакуумне відкачне обладнання;
  • вакуумні камери:
  • Вакуумна камера "Пума велика" Вакуумна камера "Пума мала"

    Вакуумні камери "Пума велика" і "Пума мала" в складі експериментального вакуумно-плазмового комплексу

  • технологічні плазмові пристрої вакуумно-дугового типу та пристрої із замкненим дрейфом електронів (генератори енергетичних газових іонів, розпилювачі магнетронного типу);
  • джерела електроживлення плазмових пристроїв;
  • вакуумні вводи обертального та зворотно-поступального переміщення плазмових пристроїв та виробів, що обробляються;
  • вакуумні вводи електроживлення, водяного охолодження, робочих газів;
  • вимірювальні прилади та забезпечення.
  • НОМЕР ТЕЛЕФОНУ:
    +38-0562-47-24-88
    E-MAIL:

    © 2001 - 2004 Інститут технічної механіки НАНУ і НКАУ