Лабораторія відділу механіки іонізованих середовищ (керівник лабораторії канд. техн.наук, ст. наук. співр. Гришкевич О.Д.)

Експериментальний вакуумно-плазмовий комплекс

Лабораторія відділу механіки іонізованих середовищ

(керівник лабораторії канд. техн.наук, ст. наук. співр. Гришкевич О.Д.)

Призначення комплексу:

дослідження робочих процесів в плазмових пристроях різних типів;

відпрацювання технологічних процесів іонно-плазмової обробки;

нанесення декоративних та функціональних, моношарових, багатошарових та наноструктурованих покриттів різного складу та призначення на зовнішні та внутрішні поверхні.

Склад комплексу:

високопродуктивне високовакуумне відкачне обладнання;

вакуумні камери:

Вакуумна камера "Пума велика"

Вакуумна камера "Пума мала"

Вакуумні камери "Пума велика" і "Пума мала" в складі експериментального вакуумно-плазмового комплексу

емністю 1м³ (Пума велика) - горизонтальна, водоохолоджувана;

емністю 0,07 м³ (Пума малая) - вертикальна, водоохолоджувана;

емністю 0,045 м³ и 0,025 м³– вертикальні, не охолоджувані;

технологічні плазмові пристрої вакуумно-дугового типу та пристрої із замкненим дрейфом електронів (генератори енергетичних газових іонів, розпилювачі магнетронного типу);

джерела електроживлення плазмових пристроїв;

вакуумні вводи обертального та зворотно-поступального переміщення плазмових пристроїв та виробів, що обробляються;

вакуумні вводи електроживлення, водяного охолодження, робочих газів;

вимірювальні прилади та забезпечення.