Відділ функціональних елементів систем керування
Заввідділу – канд. фіз.-мат. наук, П. І. Заболотний
Призначення комплексу:
- дослідження робочих процесів в плазмових пристроях різних типів;
- відпрацювання технологічних процесів іонно-плазмової обробки;
- нанесення декоративних та функціональних, моношарових, багатошарових та наноструктурованих покриттів різного складу та призначення на зовнішні та внутрішні поверхні.
Склад комплексу:
- високопродуктивне високовакуумне відкачне обладнання;
- вакуумні камери:
Вакуумні камери “Пума велика” і “Пума мала” в складі експериментального вакуумно-плазмового комплексу
- ємністю 1м³ (Пума велика) – горизонтальна, водоохолоджувана;
- ємністю 0,07 м³ (Пума мала) – вертикальна, водоохолоджувана;
- ємністю 0,045 м³ и 0,025 м³– вертикальні, не охолоджувані;
- технологічні плазмові пристрої вакуумно-дугового типу та пристрої із замкненим дрейфом електронів (генератори енергетичних газових іонів, розпилювачі магнетронного типу);
- джерела електроживлення плазмових пристроїв;
- вакуумні вводи обертального та зворотно-поступального переміщення плазмових пристроїв та виробів, що обробляються;
- вакуумні вводи електроживлення, водяного охолодження, робочих газів;
- вимірювальні прилади та забезпечення.
